Учёные Новосибирска работают над технологией изменения свойств материалов

В новосибирском Институте ядерной физики появилась молодежная лаборатория. Ученые проводят исследования, которые помогут в развитии микроэлектронной промышленности России.

Новосибирский ИЯФ ─ один из мировых лидеров в создании ионных установок. Каждую конструируют под конкретную задачу. Ещё одну построят для экспериментов недавно созданной в институте молодёжной лаборатории. Новый проект учёных будет полезен для микроэлектронной промышленности.

«Один из инструментов для производства микроэлектроники ─ ионный имплантер. Его сердцем является источник, который создает ионы требуемого сорта, и формирует пучок, который транспортируется по аэродинамической структуре ионного имплантера, попадает на образец, облучает его и производит процедуру имплантации», ─ пояснил старший научный сотрудник Института ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, заведующий лабораторией имплантерных ионных источников Владислав Скляров.

С такой технологией станет возможно менять свойства материалов, например, внедряя ускоренные ионы в пластины кремния. Его используют в микросхемах. Для работы над проектом имплантерных ионных источников сформировали коллектив молодых учёных разных специальностей.

«Работают специалисты ускорительных и плазменных областей, по ионным источникам, магнитным элементам, расчетным задачам, конструкторы. Обмен знаниями и опытом полезен. Второе предназначение молодёжной лаборатории ─ воспитать кадры», ─ отметил заместитель директора Института ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, главный инженер, кандидат физико-математических наук Игорь Чуркин. 

Задача учёных ─ не только провести научный эксперимент по разработке и испытаниям свойств ионных источников, но и модернизировать существующие, улучшить их параметры, вывести технологию на более высокий уровень. Например, использовать в установках для создания полупроводниковых элементов, таких как чипы банковских карт. Первые эксперименты на ионном источнике молодёжная лаборатория начнёт в ближайшее время.